真空鍍膜的工作(zuò)原理是(shì)膜在高溫下蒸發(fā),落在工件表麵結晶(jīng)。由於空氣對蒸發的膜分子產生阻(zǔ)力,造成碰撞,晶體變得粗糙無光(guāng),因(yīn)此晶體必須在高真空(kōng)下細密明亮。如果真空度不(bú)高,晶體(tǐ)就會失去光澤,結合力也很差。早(zǎo)期(qī)真空(kōng)鍍膜依靠蒸發體自然散射,結(jié)合效率低(dī),光澤差。現在加上中(zhōng)頻磁(cí)控濺射靶,磁控濺射鋯在電場的(de)作用下加速了膜(mó)的(de)蒸發(fā)分子的轟(hōng)擊,濺出了大(dà)量的靶原子,中(zhōng)性靶原子(或分子)沉積在基底(dǐ)上成膜,解決了(le)以往自然蒸發不能加工的膜品(pǐn)種,如(rú)鍍鈦鍍鋯(gào)等(děng)。
由於其頻率高、電流大,中頻設備必須加入冷卻水。當(dāng)導體流動時,電流具有(yǒu)集膚效應,電荷會聚集在導體表麵,從而使導體發熱,因此采用中孔管作導體中間加水冷卻。
磁控控(kòng)製濺(jiàn)射靶(bǎ),為什麽還要(yào)用水冷卻(què)?磁性控製濺射靶在發射過程中會產生高溫,從而使(shǐ)射槍變形(xíng),因(yīn)此它有一個水(shuǐ)套(tào)來冷卻射槍。與此同時,磁控濺射也是電鍍技術中最突出的成就之一。其濺射率高,基片溫度升低,膜-基結合(hé)力好。
對(duì)電子在非均勻電磁場中的運動規律進行了深入的研究,探討了磁控濺射的一般原理,以及磁場的橫向不均勻性和對稱性,這是磁(cí)約束的根(gēn)本原因。磁性控製濺射是鍍膜(mó)工藝中最突出的成就之一。其濺射率高,基片溫度升低,膜-基結合力好,設備(bèi)性能穩定。
冷卻器是一種水冷設備,可以(yǐ)提供恒溫,恒流(liú),恒壓的冷卻(què)器。它的工作原理是先向機器內的水箱注入一定量的(de)水,通過製冷係統將水冷卻,然後由泵將低溫(wēn)冷卻水輸送到需要冷卻的設備中,冷凍水帶走熱量後,溫度升高,再回流到水箱中,達到冷卻的效果。可以根據需要自動調節冷卻(què)水溫度(dù),長期使用可以節省用水(shuǐ)。
冷(lěng)卻(què)器可以控製(zhì)真空鍍膜機的溫度,保證鍍件的優質。若不配備冷水(shuǐ)機,則無法使真空鍍(dù)膜(mó)機達(dá)到高精度、高效(xiào)率地控製溫(wēn)度的目的,因為自(zì)然水和水塔的散熱必然會受到自然溫度的影響,而且這種控製方式(shì)非常不(bú)穩定。
冷水機組有完全獨立的製冷係(xì)統,不(bú)受溫度和環境的影響。水溫在5℃~30℃範圍內調節控製,可以達到高精(jīng)度高效控製溫度的目的。冷水機組有獨立的水循環係統。
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