臥式磁控鍍彩膜生產線

臥式（shì）磁控鍍膜生產（chǎn）線設備簡（jiǎn）介

★該臥式磁控鍍膜（mó）生產線可鍍的工藝膜係（xì）有：金膜、銀膜、鋁膜、鈦金膜（mó）、不鏽鋼膜等單質膜和氧化膜、複合膜（mó）、增透膜、增亮膜、光學膜、ITO導電膜（mó）、EMI屏（píng）蔽膜等等。設備能生產（chǎn）的產品有銀鏡、鋁鏡（jìng）、彩色玻璃（lí）、工藝玻璃、光伏玻璃、光電玻璃、ITO導電玻璃、非（fēi）導玻璃（lí）等，以及PC、PVC、PET等材料表麵（miàn）鍍AR、AF、ITO、非導等膜和金（jīn）屬單質膜等工（gōng）藝。設（shè）備主（zhǔ）要（yào）應用在手機鏡片（piàn）和手（shǒu）機後蓋鍍膜、電子（zǐ）、電器、軍工（gōng）、家電、五金、玩（wán）具、汽車、建築、建材、燈飾、裝飾等眾多行業領域。本設備的（de）優點（diǎn）：抽速快及穩定、產量高、特（tè）殊的（de）傳動結構運行平穩不卡頓（吸收進口設備精華（huá））。高真空部分（fèn）可根據客戶實（shí）際（jì）需要全選擇油（yóu）擴散泵或分子泵，或兩者搭配使用；設計有防返油機（jī）構，減少對產品的汙染；使用（yòng）國內或國外知名品（pǐn）牌真空泵機組，加上人性化結構設計理念和智能控製（zhì）及（jí）顯示（shì）係統，使設備盡善盡美。

★工藝氣體：氬氣、氧氣、氮氣等，具體看生產的產（chǎn）品而（ér）定。

★靶材材質：金、銀、銅、鋁、鈦、鋯、矽、鎳、鉻、錫、銦、铌、不鏽鋼等或錫銦、矽鋁（lǚ）、鎳鉻等合金。

★磁控濺射電源：直流電源、中頻（pín）電源、射頻電源、離子轟擊電（diàn）源、離子源電源（yuán）（按客戶（hù）需要而定）

★該立式磁控鍍（dù）膜生產線的結（jié）構：有3室4鎖、5室4鎖、5室6鎖、7室（shì）6鎖、9室8鎖。

進片（piàn）平台-----前粗抽室（shì）（進片室，粗抽真空泵機（jī）組）-----前高真空（kōng）室（精抽真空泵機組）-----前（qián）過渡室-----鍍膜室1、2、3（鍍膜室的個數按工藝而定，精抽真空泵機組、磁控濺射陰極靶、氣體係統）-----後過渡室（shì）-----後高真空室（shì）（精抽真空泵機組）-----後粗抽室（粗抽真空泵機組）-----出片平台（如此循環工作）。

★該立式磁控鍍膜生產線的工作流程：有3室4鎖、5室6鎖、7室6鎖、9室8鎖，現以7室6鎖為例。

玻璃從清（qīng）洗機出來（lái）進入進片平台-----前粗抽室放氣數秒並開真空鎖1，玻璃進入前粗抽室到位後關真空鎖1並抽真空（如有轟擊開轟擊，有時（shí）需要充入氬氣）-----打（dǎ）開真空鎖2後玻（bō）璃進入前高真（zhēn）空室後關真空鎖（suǒ）2繼續抽高真空-----達到一定真空後開鎖3並進入（rù）前過渡後關真空鎖3、工件架慢速進（jìn）入鍍膜室1、2、3進行磁控濺射鍍膜工（gōng）作（zuò）（鍍膜真空度在2×10-1Pa左右，按工藝而（ér）定）-----鍍膜結束後到玻璃走到過渡室-----開真空鎖4並進入後（hòu）高真空（kōng）室關真空鎖4後停（tíng）留一定時間後（hòu）-----開真空鎖5並進入（rù）後粗（cū）抽室後關真空鎖5、放氣數秒後開真空鎖6-----玻璃走到出片台後（hòu）關閉（bì）真空鎖6-----直接下片或走到下一個工序（如此循（xún）環工作）。

★磁控濺射工作原（yuán）理：電子在電場的作用下加速飛向基片的（de）過程中與氬（氧、氮等）原子（zǐ）發（fā）生碰撞，電離（lí）出大量的氬（氧、氮等）離子（zǐ）和電子，電子飛向基片（piàn）。氬離子在電場的（de）作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉積在基片上形成膜層。二次電子在加速飛向基片的過程中（zhōng）受到磁場磁力的作用下，被束縛在靠近靶麵（miàn）的等（děng）離子體區域（yù）內，該區域內等離子體密度很高，二（èr）次電子在磁場的作用下圍繞靶麵作圓周（zhōu）運動，該電子的運動路徑很長，在運動（dòng）過程中不斷的與氬原（yuán）子發生（shēng）碰撞電離出大量的氬離子轟擊靶材，經（jīng）過多次碰撞（zhuàng）後電子的能量逐漸降低，擺（bǎi）脫磁力線的束縛，遠（yuǎn）離靶材，最終沉積在基片上。磁控濺射就是以磁場束縛和延長電子的運動路徑，改變電子的運（yùn）動方（fāng）向，提高工作氣體的電離率和有效利用電子（zǐ）的能量。磁控濺射的（de）基本原理是利用 Ar一02或N2混合氣（qì）體中的等離子體在電（diàn）場和交變磁場的作用下，被加速的高能粒子轟擊靶材表麵，能量交換後，靶材表麵的原子脫離原晶格而逸出，轉移到基體表麵而成（chéng）膜。