真空鍍膜係統主（zhǔ）要構（gòu）成部分二

六、機械傳動部（bù）件

塗裝時，要求（qiú）周圍的厚（hòu）度均勻一致，這樣（yàng）塗裝時需要三個轉動量才（cái）能滿足要求。也就是說，當需（xū）要大的工件台轉動(I)時，小的工件台也需要轉動(II)，而且工件（jiàn）本身也（yě）可以旋轉(III)。就機械設計而（ér）言，一般是在大工件盤底中心有一（yī）個大的活動齒輪，周圍（wéi）有幾個小的星行輪與之齧合（hé），若要實現產品（pǐn）自轉，一般用（yòng）撥叉來撥動工件。

七，加熱（rè）和測（cè）溫（wēn）部件。

塗裝設備一般采用不同位置的加熱器，利用熱電偶控（kòng）製溫度。但由於熱電偶夾頭與工件位置不同，溫（wēn）度讀數不能作為（wéi）實際工件（jiàn）溫度。測量工件實際溫度有多種（zhǒng）方法，可在（zài）工件上安裝高溫試紙或熱偶計。

離子蒸發和濺射光源（yuán）。

多弧噴塗蒸發源一（yī）般是（shì）圓餅型（xíng），俗稱圓餅型，也有長方（fāng）形多弧噴塗。靶內裝有磁（cí）體，通過前後移動（dòng）磁體，改變磁場強度，可以調節弧斑移動速度和軌跡。為降低目標（biāo）和靶座溫度，需要在靶座內連續（xù）地注入冷卻水。同時，為保證高（gāo）導率和高導率熱傳導性，還可在目標與（yǔ）靶座之間設置錫襯墊。磁控製濺射膜（mó）通常采用矩形（xíng）或圓柱形濺射陰極。

九、水冷卻（què）係（xì）統

通常包括冷水（shuǐ）塔，冰水機，水泵等。

十工控係統。