光學鍍膜機維護與保養

光電鍍膜機主要由（yóu）真空鍍膜機（jī）室、真空（kōng）抽氣機組限製和電櫃(控製電櫃、電子（zǐ）槍電樞（shū）)組成，廣泛應用於微電子、光電成膜、民用裝飾、表麵工程等領域。

光鍍（dù）設備（bèi）在防止油汙染、縮短工作周期等方麵具（jù）有優異的性能。

光鍍設備（bèi）的工作原理是在高真空狀態下，用電子束將金屬（shǔ）或非（fēi）金屬材料加熱到合適的（de）溫度，材料加熱後蒸發成蒸汽分子。其平均自由程大於蒸發源與蒸發基（jī）之間的距離，蒸發後的蒸汽分子直接照射到各個地（dì）方，接觸基片後（hòu）沉積在基片表麵形成臘層。

光學鍍膜機的（de）維護主要包括更換電子槍的（de）安裝和維護、光路的（de）維護、設備的清潔和維護。

1.電子槍的安裝和維護。

電子（zǐ）槍（qiāng）支蒸發源控製係統由電（diàn）子槍支燈絲（sī）電源、高壓（yā）電源、掃描電源、坩堝驅動電源、蒸發源等組成。

電子槍控製電氣中心含有高壓，工（gōng）作前必須（xū）保證櫃門各聯鎖裝置正常工作，非專家不得打開電氣中心門，電子槍工作時不得打開電氣中心門，整個電氣中心必須接地良好，與機（jī）台接地。

安裝在真空室底板上的電子槍蒸發源，必須與底板有良好的接地效果，安裝蒸發源必須用不鏽鋼螺釘固定，周圍200mm以內不（bú）得有導磁物（wù），否則會影響電（diàn）子槍的（de）光斑成表，造成電子性能差。電子槍檔板應盡量安裝（zhuāng）在蒸發源坩（gān）堝中心30mm處，以免影響（xiǎng）電子槍的發（fā）射。

電子槍的蒸發源是（shì）精密的機械加工體，工作時必須保證良好的冷卻水。溫度過高會影響電子束的成形和各密封圈（quān）的性能。

㈠電子槍頭。

電子槍頭（tóu）的安裝直接影響工作的正常進行，90%的（de）故障與電子槍頭有關。

電（diàn）子槍頭使用一段時間後，會因組件汙染而（ér）影響電子束的成型和功（gōng）率，需要拆卸清（qīng）洗。

㈡坩堝的維修。

拆除（chú）坩堝前，請關閉水路，用壓（yā）縮空氣將電子槍冷卻管內（nèi）的水吹幹。

蒸發源裝卸順序:

1.拆下兩個冷（lěng）卻水連接（jiē）管。2.擰出電子槍頭，連接高（gāo）壓線和兩個螺釘。3.拆下坩堝傳動連接座和聯軸器。4.擰下蒸發源的四個（gè）固定螺釘。5.將蒸發（fā）源搬到穩（wěn）定平整的工作台。6.拆下坩堝蓋板的四個螺釘，取（qǔ）下蓋板，打磨幹淨（jìng）。7.檢查蓋（gài）板上的兩個密封圈是否需要（yào）更換。8.將（jiāng）蒸發源反轉倒置，用木板墊住坩（gān）堝部分。9.擰下固定坩堝（guō）轉動（dòng）四（sì）個（gè）螺釘10。提起蒸發源，取下坩堝11。將坩堝倒置，擰下坩堝（guō）底蓋的八個螺釘，清理裏麵的汙垢，檢查是否需要接近密封圈。12.擰下導水管的一個螺釘13。擰下坩堝轉動機（jī）構與坩堝蓋板（bǎn）連接的四個螺釘14。撥出坩堝轉動軸，檢查轉（zhuǎn）動軸的油封是否需要更換。安裝應按上述倒置順序進行。

㈢維修導磁板和掃描（miáo）圈。

導磁板和永磁鐵不（bú）需要經常拆卸和維護。如果需要拆卸，請注意（yì）永（yǒng）磁鐵的極向和導磁板的方向。由於線圈安裝空（kōng）間密集，請不要用（yòng）硬尖撬動，否則可能會損壞。

光路的維修與保養。

光路調節的前提是確保DC穩定電源、調（diào）製光源、光纖、光柵單色儀、光電轉換放（fàng）大器、光學膜厚儀和各種專用電纜的（de）完好正確（què）接入。特別是光電轉換放大器和光學膜（mó）厚測量儀的接（jiē）地點必須分別歸類為主機接地點。