蒸發真空鍍（dù）膜機技（jì）術要求

蒸發真空鍍膜機技術（shù）要求

構造要求

1.設備結構布局（jú）合理（lǐ），外形美觀，操作方便，維護方便（biàn）。

2.設備（bèi）中（zhōng）靜動密（mì）封的結構形式（shì）和尺寸應符合GB/T6070和JB/T1090~1092的（de）要求。

3.在（zài）低（dī）真（zhēn）空、高真空管道和塗層室安裝真空（kōng）管道，分（fèn）別（bié）測量（liàng）各部分的壓力。

4.如果設備的真空單元（yuán）以擴散泵為主泵，則應在（zài）擴散泵（bèng）的進氣口安裝擋板（bǎn）或冷阱。

5.塗層室（shì）應有觀察窗。對於塗層（céng）過程中發生輻射的設（shè）備（bèi），觀察（chá）窗應（yīng）安裝防輻射鏡片。

6.帶工件烘烤裝置的設（shè）備應有溫度測量電極或溫度測量裝置。

7.工件架旋（xuán）轉機構的轉（zhuǎn）速應符合產品（pǐn）設計要求。

8.配有離子轟擊裝置或寬束低能離子源裝置的設備應能在產品設計要求的參數範圍內正常連續穩定工作30分鍾以上。

9.鎢絲作為蒸發熱源的加熱器應能使蒸鍍材料正常蒸發，蒸發過程（chéng）中加熱器的幾何形狀不應影響正常蒸發。

10.設備蒸發（fā）源的工作條件（jiàn）應穩定，易於調節和控製。各種蒸發源(如（rú）電阻蒸發源、電子束蒸發源、離子束蒸發源、激光蒸發源、感應蒸發源（yuán）等。)的技術要求應符合相應的產品標準（zhǔn）。

設備采用低（dī）電壓、大電流電阻蒸發源時，各蒸發源加熱器應處於4V~20V電壓、50A~180A電流狀態。

生產要求

1.設備零件的機械加工質量和焊（hàn）接零（líng）件的質量和組裝質量應（yīng）符合（hé）製造商的技（jì）術文件（jiàn）要求。

2.設備鍍膜室內表麵及各密封麵的粗糙度Ra值不得（dé）大於1.6um，並對工作（zuò）時處（chù）於真空狀態的各個表麵進（jìn）行有效的真空（kōng）清洗處理，並進行幹燥。各旋轉部件、升降機構等動作應靈活，不得有卡、滯、鬆、抖、異響等現象（xiàng），需要使用潤滑脂的動（dòng）密封部位應適量真空油。

3.設備（bèi）主要部件的材料應符合相應的材料標準。

4.配（pèi）套設備的電氣設備質量應符合製造商的技術文件要求，設備運行安全可（kě）靠。

5.設備的外觀質量應無非功能性要求的尖角、棱角、凸起和粗糙不平整的表麵。零件結合麵邊緣應整齊（qí）均勻，無明顯偏差。金屬零件的塗層應牢固（gù），無脫落、生鏽（xiù）等現象，所有固體零件應有（yǒu）防鏽層（céng）。設備（bèi）的（de）塗裝表麵應光滑、美觀、牢固、無脫落、剝落。

6.設備中外購買的配套產品應符合相應的產品標準，並有質量證書。設備（bèi）中（zhōng）自製的配套產品隻能在（zài）製造商檢驗部門（mén）檢驗合格後使用。

7.設備中的各種蒸發源、輔助（zhù）離子源和離子轟擊、工件旋轉、工（gōng）件烘（hōng）烤、工件偏壓、薄膜厚度監測等設備。應逐一調試和聯合調試，其性能應（yīng）符合設計要求，運行（háng）可靠。當工件加（jiā）熱到額定溫度時，真空室外表麵溫度不應高於45度，設備運動部件應（yīng）正常工作。