真空鍍膜機采用不同的鍍膜工藝,其自動化控(kòng)製係統(tǒng)也不盡相同,即使是相(xiàng)同的鍍膜工藝,由於控製技術指標的不同,所采用的控製係統也不盡相(xiàng)同。微機(jī)自動控製係(xì)統、自(zì)動控製裝置、工業自動化儀表(biǎo)、壓力控製儀、真空計(jì)及某些自動控製元(yuán)件(jiàn)等一般鍍膜設備(bèi)的基本構成,可以實現(xiàn)對真空鍍膜設備的(de)程序自動控製、轉換鍍膜過程、調整真空工藝參數等基本功能。
對真(zhēn)空鍍膜機的(de)控製係統進行選(xuǎn)型時,必須能有(yǒu)效地滿足真空鍍膜設備及其工藝對控製的需要,注意真空鍍膜設備的各種構造與自動(dòng)控製係統的配合,要求自動控製係統結構簡單,成本低(dī),自動化程度不一(yī)定很高(gāo),但必須保證真空鍍膜設備安全可靠,使(shǐ)用方便,易於維護。控製係統對自動控製裝置及其部件、自動(dòng)儀表的選擇應合理。
負壓(yā)鍍膜是膜體(tǐ)在高溫下蒸發到工件表麵(miàn)的結晶。因為空氣對蒸發的膜體分子(zǐ)會產生阻力而與之發生碰(pèng)撞,使得結晶體變得粗糙而無光,因(yīn)此必須在高真空下使結晶體產生細密光亮,如(rú)果(guǒ)真空度不高(gāo),結晶體就會失去(qù)光澤,結合力(lì)也很差。利用磁場,加快中頻(pín)磁控濺射靶對膜體蒸發的分子進行轟擊,濺射出大量的目標原子,使(shǐ)中性目標原子(或分子)沉積在(zài)基底上,形成薄膜,解(jiě)決了以往自然蒸發不能加工的膜體品種。由於高頻高電流大(dà),中頻設備必須加入冷卻水。當電流通過導體的時候,會產生集膚效應,電荷會(huì)聚集在導電表麵,從而產生發熱,因此采用中孔管做導體(tǐ)的中間加(jiā)水冷卻。
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