真空鍍膜設備是怎麽（me）鍍（dù）膜的

2020-12-22 15:08:44

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根據應用領域的不同（tóng），鍍膜機（jī）可（kě）分（fèn）為電子槍蒸（zhēng）發式鍍膜機、磁控濺射鍍膜機、等離子式（shì）鍍膜機、射頻鍍膜機（jī）等，但它們的結（jié）構（gòu）基本相（xiàng）同，以光（guāng）學鍍膜機為例，其（qí）主要由三部（bù）分組成：真空體-真空腔（qiāng），輔助（zhù）排氣係（xì）統(包括排氣係統，測量係統)，蒸發係統(包括坩堝和旋轉控製係統，電子槍)，成膜控製係統。

真空鍍膜設備（bèi）

真空鍍膜設備是怎麽鍍膜的，該工藝是將材（cái）料在真（zhēn）空（kōng）環境下加熱鍍到襯底上進行真空蒸鍍。特別地，真（zhēn）空蒸鍍是將薄膜覆蓋（gài）的物質在真空中蒸發（fā）或升華，從而在工件或襯底表麵上析出的過程。真空蒸鍍一般采（cǎi）用鋁膜作為鍍層，但也可（kě）采用蒸發沉（chén）積方法形成其他鍍層。但目前的鍍膜機結構比較複雜，成本也比較高，不能完全適應工業化生產的要求，不利於降低鍍膜產品的成本。

本係統是將真空鍍膜係統與手（shǒu）套箱係統相結合，提供了一種手套箱式蒸鍍一體機，該係統可以（yǐ）在高真空蒸鍍室內完成薄膜蒸鍍，樣品的存放、製備及蒸鍍後的樣品檢測均在手套箱內高純惰性氣體氣氛（fēn）下進行。

蒸鍍與手套箱相結合，實現蒸鍍、封裝（zhuāng）、測試全封閉生產（chǎn），使整個薄膜生長過程和器件製備過程在可控環（huán）境氣氛下高（gāo）度集（jí）成，消除了大麵積有機電路製備過程（chéng）中大氣環境不穩定因素的（de）影（yǐng）響，保證了高性能、大麵積製（zhì）備有機光電（diàn）器件和電路。

優點：生產效率高，有利於降低鍍膜產品的成（chéng）本。