真空鍍（dù）膜機廠家為（wéi）你介（jiè）紹複合離子鍍膜機

2021-06-03 10:55:04

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為了滿足各種多層薄膜和複合膜（mó）的（de）要求，多功（gōng）能複合離子鍍（dù）膜機已成為目（mù）前研究發展的方向和熱點。複合離子鍍（dù）膜機采用雙目標先進技術，克服了直流濺射固有的目標中毒、起火等不良（liáng）缺點，可以鍍AL2o3、SiO2氧（yǎng）化優（yōu）質（zhì）膜，提高鍍層抗氧化耐腐蝕性。

複合離子鍍膜機中心安裝柱狀多弧靶，靶為鈦或鋯。它不僅能保持多弧技術離化率高、沉積率高的特（tè）點，還能有效減少小平麵多弧靶沉（chén）積過程中不可避免的液滴缺（quē）陷，從而製備低孔隙率的金屬膜或（huò）化合特膜；雙胞胎平（píng）麵磁控（kòng）靶安裝（zhuāng）在周圍，目標是鋁或矽，可以鍍Al2O3和SiO2金屬陶瓷膜；中外（wài），周（zhōu）圍安裝多個小平麵多弧蒸發源，目標是（shì）鉻或鎳，可（kě）以鍍多層金屬膜和多層複合膜。

複合離子鍍膜設備具有多種不（bú）同形式的鍍膜裝置和不同材料的蒸發源和發射（shè）靶，既能獨立工作，又能同時工作，既（jì）能製（zhì）備純金屬薄膜，又能（néng）製備金屬（shǔ）化合（hé）物（wù）薄膜或複合材料薄膜，既能製備單層薄膜，又能製備多層複合薄膜，廣泛。

真空鍍膜機特點