真空蒸發設備由什麽組（zǔ）成

真空蒸發設備由真（zhēn）空（kōng）泵係（xì）統（tǒng）和（hé）真空室組成，其中真空（kōng）泵係統由(超)高真空泵、低真（zhēn）空泵、排氣管和閥門等組成（chéng）。真空室配有蒸（zhēng）發源、晶體振蕩（dàng）器和掩模板等不可缺少的部件。多個用於放置有機材料的蒸發源設置在真空室中並左右（yòu）移動，用於加熱有機材料以將其蒸發並沉積在襯底上以形成薄膜。AMOLED麵板需要蒸鍍十層以上（shàng）的有機材料。蒸發厚度和均勻性（xìng）是核心指標，需要控製在納米級精度，直接決定了OLED麵板的發光效率、顯示顏色和成品率。蒸發源作為蒸發的核（hé）心部件，其性能決定了蒸發過程中薄膜的厚度和均勻（yún）性，可視為蒸發設備的“心髒”。

有機塗層蒸發（fā）源:在有機成膜過程中（zhōng），如（rú）何穩定控製（zhì）蒸發速度，並長期保持連續蒸發，是批（pī）量生產設備（bèi）上蒸發源設計的重（chóng）要問題。在生產中為了控製TactTime，蒸發源的運行方式一般采用快門控製，蒸（zhēng）發源始終保持在設定（dìng）的加熱溫度（dù）。當基板移動到指（zhǐ）定位置（zhì）時，蒸（zhēng）發源的快門打開，形成薄膜。當連續運行時，大量有機材料儲存在真空蒸發係統中，以維持蒸發源的運行或使（shǐ）用自動填充機（jī）構，並且同樣的設計（jì）考慮必須應用於（yú）金屬電極膜形成過程。晶體膜厚監控法用於控製蒸發速度，在連（lián）續大規模生產過程中，為了保持測量精度，自動交換水屑的機製也是必（bì）要的。