真(zhēn)空設備應用廣(guǎng)泛,如何處理各種複雜問題?
如今,真空設備的應用領域越來越廣泛,其中許(xǔ)多與電力,電磁,水,氣源和製冷有關。真空爐或鍍膜設備都(dōu)會遇到電氣問題。很(hěn)少有一些情況不是電源部(bù)分的問題,這很難理解。其中一些是由於機械組裝時的粗心造成的,而某(mǒu)些是絕緣材料或結構的(de)問題(tí)。這時,不要急於下結論,不要急於拆卸設備,您應仔細分析故障現象或谘詢專門從事此工作的(de)人員(yuán)。避免意外拆卸和拆卸造成不必要的(de)損失。有一種特殊的設備在工作時會放電。在分析工作記錄並(bìng)與操作員溝通(tōng)之後,可以(yǐ)得出不同的(de)結論。有人認為電源有問題,有人認為這是組裝過程中的問題(tí)。之後,拆卸(xiè)設備,重新組裝後消除(chú)放電現象。有一個磁控濺射鍍膜機,產品的下半部明顯好於上半(bàn)部,靶的外觀沒(méi)有問題,磁環的上半部用高斯計消磁。檢查後,發現水路有問(wèn)題。調整水路,更換磁環,解決了產品上下的一致性問題。
在設備的加工階段,必須遵循加工技術(尤其是焊接技術),以及時發現半成品的泄漏。對於(yú)製(zhì)造後無法觸(chù)摸,泄漏測試或(huò)維修的零件,必須嚴格測試焊接質量是否(fǒu)有泄漏,不合格的零件應及時重新焊接,維修和泄漏(lòu)測試,然(rán)後(hòu)可以進行下一個過程符合要求後。特別(bié)是對於大型(xíng)容器的裝配焊接和加工,中(zhōng)間過程中的泄漏檢測非常重要。如有必要,應設(shè)計和製造專用的檢漏工具(例如檢漏盒,盲板等)。對於帶有雙壁水冷套的真空腔體,先焊接內腔(qiāng)壁並檢查是(shì)否泄漏,確認沒有泄漏,然後(hòu)再焊(hàn)接外腔壁。同樣,在腔室壁的外側存在難以拆卸的絕緣(yuán)層的情況下,需(xū)要在覆蓋外部結構之前對腔(qiāng)室壁進(jìn)行嚴格的泄漏檢測。
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