立式單（dān）雙開門鍍膜機

★該立式真空鍍膜設備可分為單門或雙門蒸發鍍膜機、單門或雙（shuāng）門磁控鍍膜機、單門或雙門（mén）磁控蒸（zhēng）發組合AF鍍（dù）膜機，蒸發鍍膜機可（kě）蒸發鍍鋁絲（sī）和鋁片（piàn）。磁控鍍膜機可鍍的工藝膜係有：金膜、銀膜、鋁膜（mó）、鈦金膜、不鏽鋼膜等單質膜和氧化膜、複合膜、增透（tòu）膜、增亮膜、光學膜、ITO導電膜（mó）、EMI屏蔽膜等（děng）等（děng）。設備能（néng）生產的（de）產品有銀鏡（jìng）、鋁鏡、彩（cǎi）色（sè）玻璃、工藝玻璃、光伏玻（bō）璃、光電玻璃、ITO導電玻璃、非導（dǎo）玻璃等，以及PC、PVC、PET等材（cái）料表麵鍍AR、AF、ITO、非導等膜和金屬（shǔ）單質膜（mó）等工藝（yì）。設備主要應（yīng）用在手機鏡片（piàn）和手機後蓋（gài）鍍膜、電子、電器、軍工、家電、五金、玩具（jù）、汽車、建築、建材、燈（dēng）飾、裝飾等眾多行業領域。本設備的優點：抽（chōu）速快及穩定、產量高、轉動結構運行平（píng）穩不卡頓（dùn）。高真空部分可根據客戶實際需要全選擇油擴散泵或分子泵，或兩者搭配使用（yòng）；設（shè）計有防（fáng）返（fǎn）油機構，減少（shǎo）對（duì）產品的汙染；使用國內或國外知（zhī）名品牌真空泵機組，加上人性化結（jié）構設計（jì）理念和智能控製（zhì）及顯示係統，如能增加使（shǐ）用深冷係統，會（huì）加快抽速時間及產量，使設（shè）備盡善盡美。

★工藝氣體：氬氣、氧氣、氮氣等，具（jù）體看生產的產品而（ér）定。

★靶材材質：金、銀、銅、鋁（lǚ）、鈦、鋯、矽、鎳、鉻、錫、銦、铌、不鏽鋼等或錫銦（yīn）、矽鋁、鎳鉻等合金、鋁絲、鋁片。

★磁控濺射電源：直流電（diàn）源、中頻電源、離（lí）子轟擊（jī）電源、離子源電源（yuán）（按客戶需要而定）、蒸發器。

★該立式（shì）磁控蒸發鍍膜設（shè）備的結（jié）構：

可分為單開門或（huò）雙開門結構（gòu），

前（qián）級有精抽真空（kōng）泵機組、粗抽真空泵機組、粗抽閥、前置閥、高真空閥、磁控濺射蒸發室（單室時（shí）轉動工件架裝在固定門（mén）裏；如是雙開門（mén）時轉動工件架裝在兩個活動門裏）-----有磁控濺射陰極靶或蒸發器或者磁控（kòng）濺射陰極靶和（hé）蒸發器組合，氣體係統和離子轟擊等。

★該立式磁控蒸發鍍（dù）膜設備的（de）工作流程（chéng）：

在工件架上掛上或貼上基片-----如有蒸發需裝上鋁（lǚ）絲或藥丸子-----關（guān）上大（dà）門，開（kāi）真空泵進行抽（chōu）真空----如（rú）果（guǒ）有轟擊（有時需要充入氬氣）開（kāi）轟擊開轉動-----轟擊結束後繼續抽真空（kōng）直至真空度5×10-2Pa左右或更高（gāo），開蒸發器進行（háng）蒸發同時（shí）開工件架轉動（如果是磁控鍍膜的話（huà），充工作氣體開磁控靶同時工件架轉動），-----鍍膜結束後，關閉所有閥門，打開真空室放氣閥（fá）放氣，打開大門取下工件。重新掛上新的工件（如此（cǐ）循環（huán）工作）。