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真空鍍膜機主要是指需要在較高真空下進（jìn）行一種鍍膜，包括（kuò）真空蒸發鍍（dù）膜機、真（zhēn）空多（duō）弧（hú）離子鍍膜機、真空中間頻磁龍濺射鍍膜（mó）機、多功能中間頻磁控濺射多（duō）弧複合離（lí）子鍍膜機、真空光學（xué）（電（diàn）子束蒸發）鍍膜機等係列真空鍍膜設備。那麽，在（zài）使用真空電鍍機（jī）時，17c.c-起草口應注意什麽？如何（hé）維護它？
真（zhēn）空鍍膜機維護和安全（quán）措施如下：
1. 設備必須可靠接地，並且必須經常檢查接地裝置的（de）導電效果。
2. 當擴散（sàn）泵和增油泵加（jiā）熱時，不要接觸大氣，以免泵油氧化。
3. 定期檢查調節水（shuǐ）流繼電器，檢查斷水（shuǐ）報警是否（fǒu）正（zhèng）常，確保設備冷卻供水暢（chàng）通。
4. 加熱前冷卻（què）水必須連接到擴散（sàn）泵和增油泵，泵停（tíng）止工作，但當泵未冷卻到低於 80°C 時，不得切斷冷卻水，以防止（zhǐ）泵芯燃燒。
5. 所（suǒ）有設備的冷卻水在塗（tú）裝工作前必須連接，以防（fáng）止（zhǐ）電極和基板燃燒。
6. 拆卸和組裝設（shè）備的各個部件（jiàn）時，應注意保護每個密封（fēng）工作表麵免受機械劃痕或損壞，以（yǐ）確保設備可靠的密封性能。
7. 設備各傳動軸的真空密封（fēng）采用"骨架油封（fēng）"形式，骨（gǔ）架油封內腔充滿潤滑油。使用一段時間後，它將會（huì）丟失，並且必須用同樣的潤滑劑填充。
8. 經常檢查根泵和滑動閥泵的儲（chǔ）油情況（kuàng），並定期補充（chōng）。同時，按照手（shǒu）冊的要（yào）求進行維護（hù）。
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