真空（kōng）鍍膜設（shè）備鍍膜過程

2020-11-12 16:56:43

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真空鍍膜設備主要是指需要（yào）在高真空度下進行的鍍膜，包括多種，包（bāo）括多弧離（lí）子真空鍍（dù）膜設備、真空離子蒸發、光學鍍膜機、磁控濺射（shè）、MBE分子束外延、PLD激（jī）光濺射沉積等。真空鍍（dù）膜的工作原理是薄膜在高（gāo）溫下蒸發，落到工件表麵結晶。因為空氣會對蒸發的膜分子產生阻力，造成碰撞，使晶體變得粗糙、暗（àn）淡，所以需要在高（gāo）真空下使晶體變得細小、光亮。真空（kōng）度不高，晶體會失去光（guāng）澤，結合力差。早期真空鍍膜依靠蒸發（fā）物的自（zì）然散射，結合效率差，光澤度差。現在，隨著中頻磁控（kòng）濺射靶的加入，膜體的（de）蒸發分子在電場的作用下受到靶材的轟擊，大量的靶（bǎ）原子被濺射出來，中性的靶原子(或分子)沉積在襯底上形（xíng）成薄膜，解決了以往自然蒸發無法處理（lǐ）的膜體品種，如鍍（dù）鈦（tài）、鍍鋯等問題。

目前，真空技術在石油、化工、冶金等行業的真空蒸發、結晶、蒸餾、升華、幹燥、負（fù）壓濃縮、脫水、化學反應（yīng）吸（xī）收和真空輸送過程中的應用越來越廣泛。真空技術應用（yòng）於（yú）各種加工工藝後，可以節能降耗，加快反（fǎn）應速（sù）度，提高產品質量，增加經濟效益，並逐漸形成（chéng）共識。但真空技術是一（yī）門（mén）邊緣科（kē）學，解放（fàng）後中（zhōng）國的真空產業消化吸收了。蒸（zhēng）汽噴射真空泵具有高真空、低能耗、運行穩定、無機械摩擦、使用壽命長、設備安全等優點（diǎn）。在高真空要求的（de）工作（zuò）係統（tǒng）中，蒸汽（qì）噴射真空泵（bèng）通常（cháng）是選的真空泵設備。